東京工業大学 工学院 機械系
吉野・山本研究室
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光加工グループ
真空紫外光 (VUV) を用いたマルチマテリアル接合
VUVによる光ナノ加工
VUVの持つ高いエネルギーを利用した超微細加工法とナノデバイス作製への応用を研究しています。
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